電子工業(yè)生產(chǎn)中真空波紋補(bǔ)償器的選擇

(1)被抽真空容器的體積及生產(chǎn)率要求。

(2)所要求的真空度。

(3)抽出氣體的種類(lèi)。

(4)工作期間工件和系統(tǒng)的放氣橄和漏氣。目前在我國(guó)電子工業(yè)生產(chǎn)中，常用的真空波紋補(bǔ)償器的基本類(lèi)型主要是機(jī)械波紋補(bǔ)償器和油擴(kuò)散波紋補(bǔ)償器?，F(xiàn)僅就這兩種類(lèi)型真空波紋補(bǔ)償器的選擇問(wèn)題簡(jiǎn)介如下。機(jī)械波紋補(bǔ)償器工作的基本原理是利用轉(zhuǎn)子，將機(jī)械波紋補(bǔ)償器的工作空間周期性的壓縮和膨脹，從而排出容器中的氣體。機(jī)械波紋補(bǔ)償器按結(jié)構(gòu)特征可分為真空波紋補(bǔ)償器、定片式真空波紋補(bǔ)償器、滑閥式真空波紋補(bǔ)償器、多片式直空波紋補(bǔ)償器和雙轉(zhuǎn)子真空波紋補(bǔ)償器(松夏波紋補(bǔ)償器)等。目前在我國(guó)電子工業(yè)生產(chǎn)中，應(yīng)用較多的是真空波紋補(bǔ)償器。機(jī)械波紋補(bǔ)償器工作性能的好壞，受很多因素的影響，如結(jié)構(gòu)形狀、加工精度、機(jī)械波紋補(bǔ)償器的性能、工作環(huán)境、被抽氣體種類(lèi)和機(jī)件磨損情況等。日前雖然有人在理論上從波紋補(bǔ)償器的有害空間、氣密性、極限壓強(qiáng)、抽氣速率和壽命等方面分析后，認(rèn)為滑閥式最好，定片式次之、轉(zhuǎn)片式較差，但是尚未提供有力的證據(jù)。