松夏解析一下波紋補償器的抽氣技術，超高真空系統(tǒng)用波紋補償器的選擇是重要的。表明超高波紋補償器應靠提供高的抽速并且減小由波紋補償器到真空室的返流來降低壓強。這里，返流被定義為由波紋補償器到系統(tǒng)的任一種氣體流或蒸氣流。對超高真空系統(tǒng)來說，減少來自波紋補償器的污染的目的是同其它任何真空系統(tǒng)一樣的，只是超高真空系統(tǒng)中極限壓強和所容許的污染程度更低罷了。

為了降低污染程度，必須嚴格遵守正確的抽氣步驟。變暖了的液氮冷阱只要在幾分忡內就能將所冷凝的蒸氣返流到阱上方的清潔區(qū)域中去。雖然重新降溫會阻止進一步污染，但事故中已擴散到清潔區(qū)域內的蒸氣是無法再除掉了。在高真空范圍內是無關緊要的事故會破壞低壓強下所作的實驗的真實性。 每種類型的波紋補償器本身都具有它所特有的不能抽走而作為雜質存在的氣體和蒸氣物質。

一些波紋補償器和阱的聯(lián)合使用能在盡量減小返流的同時對所有的氣體都提供足移的抽速。擴散波紋補償器常與鈦升華阱聯(lián)用，低溫波紋補償器和升華波紋補償器常與離子波紋補償器聯(lián)用，而渦輪分子波紋補償器常輔以升華器。一般來說，沒有兩類超高真空系統(tǒng)會采用相同的波紋補償器的組合方案。雖然可以買到商用抽氣系統(tǒng)，但對超高真空應用來說，通常是按其特殊要求來進行波紋補償器的設計和選擇的。至今，在選擇超高波紋補償器時仍保留了靠優(yōu)選解決的簡單技藝。