松夏談選擇真空波紋補償器的注意事項
松夏談選擇真空波紋補償器的注意事項
1、真空波紋補償器工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動的波紋補償器或者采取防振動措施。
2、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空波紋補償器時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的波紋補償器。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在波紋補償器的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。
3、真空波紋補償器在其工作壓強下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
4、正確地組合真空波紋補償器。由于真空波紋補償器有選擇性抽氣,因而,有時選用一種波紋補償器不能滿足抽氣要求,需要幾種波紋補償器組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華波紋補償器對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子波紋補償器,對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空波紋補償器不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空波紋補償器出口壓強低于大氣壓,需要前級波紋補償器,故都需要把波紋補償器組合起來使用。
5、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求波紋補償器時,應(yīng)該選各種波紋補償器波紋補償器,如:水環(huán)波紋補償器、分子篩吸附波紋補償器、濺射離子波紋補償器、低溫波紋補償器等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油波紋補償器,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。
6、正確地選擇真空波紋補償器的工作點。每種波紋補償器都有一定的工作壓強范圍,保持其穩(wěn)定的工作壓強。波紋補償器的工作點應(yīng)該選在標(biāo)準(zhǔn)范圍之內(nèi)較為適宜,而不能不適宜的條件下長期工作。
7、真空波紋補償器排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選波紋補償器真空波紋補償器,或者把油蒸氣排到室外。
8、真空波紋補償器的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求。通常選擇波紋補償器的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級。
9、另外,還需考慮真空波紋補償器的價格、運轉(zhuǎn)及維修費用等。需根據(jù)自身需要和能力進(jìn)行選擇適合自己的真空波紋補償器。